3M Liqui-Cel EXF-G532S 14x28 X40脱气膜案例1：超大晶圆厂超纯水主路脱气应用

 

3M Liqui-Cel EXF-G532S 14x28 X40脱气膜案例1 ：超大宽度厂超纯水主路脱气应用

8英寸及以上超大晶圆厂超纯水系统主路水量大、水质要求严格要求，传统脱气设备无法兼顾大流量与高精度脱氧需求，某线路晶圆厂中国分厂针对超纯水主路脱氧处理系统，采用3M Liqui-Cel EXF-G532S 14x28 X40脱气膜，构建主路集中脱气单元，实现大流量超纯水深度氧。3M Liqui-Cel EXF-G532S 14x28 X40脱气膜为14×28超大流量结构型，单台处理流量可达10-12m³/h ，牵引X40专用脱氧膜丝，脱气效率是普通脱氧膜的1.5倍，可将超纯水主路溶解氧从9-10ppm稳定至1ppb以下，全程无一哦哦哦哦哦，象征着工厂24小时连续生产需求。该脱气膜采用工业级重型设计，组件膜耐压0.8MPa 3M Liqui-Cel EXF-G532S 14x28 X40脱气膜可多台并联使用，满足大型产能系统解决厂需求，结构小，相比传统真空大型脱气塔，占地减少75% ，年运维成本降低80% ，有效稀释面积工厂超纯水质量稳定，支撑先进制程芯片连续生产。